本文技术内容摘选于EETOP创芯大讲堂温得通老师的集成电路系列课程之《集成电路闩锁效应与工程应用》。

为了使更多从事集成电路相关工作的工程师获取更多专业技能，在去年EETOP创芯大讲堂特邀温老师录制了《集成电路闩锁效应与工程应用》系列培训课程。此课程将在五一期间以8折优惠价格回馈EETOP广大中高端工程师用户。

课程适用对象

工艺研发工程师（TD）

版图设计工程师

模拟电路设计工程师

ESD电路设计工程师

芯片失效分析工程师

引言：

闩锁效应存在于体CMOS集成电路中，它一直是CMOS集成电路可靠性的一个潜在的严重问题，随着CMOS技术的不断发展，器件的尺寸越来越小，同时器件间的间距也越来越小，集成电路的器件密度越来越大，集成电路的闩锁效应变得越来越严重，特别是在输入输出电路。

闩锁效应出现的背景

最早出现的集成电路工艺技术是双极型工艺技术，它也是最早应用于实际生产的集成电路工艺技术。随着微电子工艺技术的不断发展，工艺技术日趋先进，其后又相继出现了PMOS、NMOS、CMOS、BiCMOS和BCD等工艺技术。

年，贝尔实验室的Bardeen、Shockley和Brattain发明了第一只点接触晶体管。年，贝尔实验室的Shcokley提出pn结和双极型晶体管理论，年贝尔实验室制造出第一只锗双极型晶体管，年德州仪器制造出第一只硅双极型晶体管，年硅平面工艺技术成熟，双极型集成电路开始大批量生产。

由于双极型工艺技术制造流程简单、制造成本低和成品率高，另外在电路性能方面它具有高速度、高跨导、低噪声、高模拟精度和强电流驱动能力等方面的优势，它一直受到设计人员的青睐，在高速电路、模拟电路和功率电路中占主导地位，但是它的缺点是集成度低和功耗大，其纵向(结深)尺寸无法跟随横向尺寸成比例缩小，所以在VLSI(超大规模集成电路)中受到很大限制，在20世纪70年代之前集成电路基本是双极型工艺集成电路。20世纪70年代，NMOS和CMOS工艺集成电路开始在逻辑运算领域逐步取代双极型工艺集成电路的统治地位，但是在模拟器件和大功率器件等领域双极型工艺集成电路依然占据重要的地位。图1-1所示的是双极型工艺集成电路剖面图。VNPN是纵向NPN(VerticalNPN)，LPNP是横向PNP（LateralPNP），n+是n型重掺杂扩散区，P+是p型重掺杂有源区，P-Base是p型基区，PW（P-WELL）是p型阱，NW（N-WELL）是深n型阱，NBL（N+BuriedLayer）是n型埋层，P-sub（P-substrate）是p型衬底，N-EPI（N-Epitaxial）是n型外延层。

图1-1双极型工艺集成电路剖面图

年Lilienfeld和Heil提出MOSFET晶体管结构，但是由于栅氧化层存在固定和可移动的正电荷，所以一直没有制造成功MOSFET晶体管，直到20世纪60、70年代NMOS和PMOS工艺技术才相继出现。早期的PMOS和NMOS的栅极都是金属铝栅，MOSFET的核心是金属-氧化物-半导体，它们组成电容，通过栅极可以形成电场，所以称为金属氧化物半导体场效应管。PMOS是制造在n型衬底上的p沟道器件，NMOS是制造在p型衬底上的n沟道器件，它们都是采用铝栅控制器件形成反型层沟道，沟道连通源端和漏端，使器件开启导通工作。它们都是电压控制器件，PMOS依靠空穴导电工作，NMOS依靠电子导电工作。图1-2所示的是NMOS和PMOS晶体管剖面图。图1-3所示的是利用NMOS和电阻负载设计的逻辑门电路。

图1-2NMOS和PMOS晶体管剖面图

图1-3利用NMOS和电阻负载设计的逻辑门电路

因为电子比空穴具有更高的迁移率，电子的迁移率μe大于空穴的迁移率μh，μe大约等于2.5μh，因而NMOS的电流驱动能力大约是PMOS的2倍，所以采用NMOS工艺技术制造的集成电路性能比采用PMOS工艺技术制造的集成电路更具优势，集成电路设计人员更倾向于采用NMOS技术设计电路。20世纪70年代到80年代初期，NMOS工艺技术被广泛应用于集成电路生产，由于NMOS工艺技术具有更高的集成度，并且NMOS的光刻步骤比双极型工艺技术少很多，它不像双极型工艺技术中存在很多为了提高双极型晶体管性能的阱扩散区，如N-EPI和NBL，与双极型工艺技术相比，利用NMOS工艺技术制造的集成电路更便宜。

随着集成电路的集成度不断提高，每颗芯片可能含有上万门器件，功耗和散热成为限制芯片性能的瓶颈。无论是双极型工艺集成电路，还是NMOS工艺集成电路，当器件密度从门增加到0门，芯片功率从几百毫瓦增加到几瓦，当芯片的功耗达到几瓦时，已不能再用便宜的塑料封装，必须使用昂贵的陶瓷封装工艺制程技术，还要利用空气或水进行冷却，这些都限制了双极型工艺技术和NMOS工艺技术在超大规模集成电路中的应用。

年，飞兆(仙童)半导体公司研发实验室的C.T.Sah和FrankWanlass提交了一篇关于CMOS工艺技术的论文，这是首次在半导体业界提出CMOS工艺技术，同时他们还用了一些简单的实验数据对CMOS工艺技术进行了简单的解释[1]。CMOS（ComplementarymetalOxideSemiconductor互补金属氧化物半导体)是把NMOS和PMOS制造在同一个芯片上组成集成电路，CMOS工艺技术是利用互补对称电路来配置连接PMOS和NMOS从而形成逻辑电路，这个电路的静态功耗几乎接近为零，这个理论可以很好地解决超大规模集成电路的功耗问题，这一发现为CMOS工艺技术的发展奠定了理论基础。图1-4所示的是利用PMOS和NMOS组成的CMOS反相器电路,只有在输入端口由低电平(VSS)向高电平(VDD)或者由高电平(VDD)向低电平(VSS)转变的瞬间,NMOS和PMOS才会同时导通,在VDD与VSS间产生电流,从而产生功耗,当输入端口为低电平时只有PMOS导通,当输入端口为高电平时只有NMOS导通,VDD与VSS之间都不会产生电流,所以静态功耗为零。

图1-4CMOS工艺反相器电路

年6月18日，Walass为CMOS工艺技术申请了专利，但是几天之后，他就离开了仙童，因为仙童宣布在他还没有确切的实验数据之前，没有采用新技术的计划，所以Walass没有机会去完成CMOS工艺技术项目。

年，美国RCA(美国无线电)公司研制出首颗CMOS工艺门阵列（50门）集成电路。当时用CMOS工艺技术制造的集成电路的集成度并不高，而且速度也很慢，CMOS也很容易发生自毁现象。研究发现CMOS电路中存在寄生的NPN和PNP，它们形成PNPN的结构，它们会在一定条件下会开启，并形成正反馈回路导致电源和地之间形成低阻通路烧毁电路，半导体业界称这种PNPN结构为闩锁结构，由PNPN结构引起的效应称为闩锁效应。图1-5所示的是CMOS反相器电路中寄生的PNPN闩锁结构，当输出端口有噪声时，会引起寄生的双极型晶体管PNP或NPN导通，然后形成导通电流流经电阻Rp或者Rn形成正反馈，导致另外一个寄生的双极型晶体管导通，那么此时两个寄生的双极型晶体管同时导通形成闩锁效应低阻通路烧毁芯片。至此，CMOS的闩锁效应正式引起了半导体业界的注意。

图1-5CMOS工艺反相器中寄生PNPN结构

扫描